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エピタキシャルAl[2]O[3]薄膜を用いたSOI構造形成に関する研究
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/581
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/58195042159-100d-4fca-8e5c-c7442d0604dc
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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![]() |
Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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公開日 | 2012-11-08 | |||||||
タイトル | ||||||||
タイトル | エピタキシャルAl[2]O[3]薄膜を用いたSOI構造形成に関する研究 | |||||||
言語 | ja | |||||||
言語 | ||||||||
言語 | jpn | |||||||
資源タイプ | ||||||||
資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
アクセス権 | ||||||||
アクセス権 | open access | |||||||
著者 |
澤田, 和明
× 澤田, 和明
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学位名 | ||||||||
言語 | ja | |||||||
学位名 | 工学博士 | |||||||
学位授与機関 | ||||||||
学位授与機関名 | 豊橋技術科学大学 | |||||||
学位授与年月日 | ||||||||
学位授与年月日 | 1991-03-22 | |||||||
学位授与番号 | ||||||||
学位授与番号 | 13904甲第42号 | |||||||
関連サイト | ||||||||
識別子タイプ | URI | |||||||
関連識別子 | http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/2964315 | |||||||
関連名称 | NDLデジタル化資料 | |||||||
関連サイト | ||||||||
識別子タイプ | URI | |||||||
関連識別子 | https://www.tut.ac.jp/university/docs/abstK42.pdf | |||||||
関連名称 | TUT博士論文要旨 | |||||||
著者版フラグ | ||||||||
出版タイプ | VoR |