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マイクロ/ナノパターニングへの応用に向けたゾル-ゲル有機/無機ハイブリッド膜のプロセシングと接触力学
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/1498
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/1498a6859329-6677-4393-9600-c2b70048ca6e
| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-07-08 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | マイクロ/ナノパターニングへの応用に向けたゾル-ゲル有機/無機ハイブリッド膜のプロセシングと接触力学 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Processing and Contact Mechanics of Sol-Gel Derived Organic/Inorganic Hybrid Films for Micro/Nano-Patterning Application | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | eng | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||||
| 著者 |
AINUN, RAHMAHWATI BT AINUDDIN
× AINUN, RAHMAHWATI BT AINUDDIN
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| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関名 | 豊橋技術科学大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2012-09-25 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 13904甲第642号 | |||||||
| 関連サイト | ||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||
| 関連識別子 | http://www.tut.ac.jp/university/docs/abstK642.pdf | |||||||
| 関連名称 | TUT博士論文要旨 | |||||||
| 他の資源との関係 | ||||||||
| 関連名称 | 上記資料は要旨のみ利用可 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||
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Cite as
AINUN, RAHMAHWATI BT AINUDDIN, n.d., Processing and Contact Mechanics of Sol-Gel Derived Organic/Inorganic Hybrid Films for Micro/Nano-Patterning Application.
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