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γ-Al2O3/Si(100)基板上のPb(Zr,Ti)O3薄膜焦電型赤外線センサの集積化に関する研究
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/1728
https://repo.lib.tut.ac.jp/records/17282a0ca219-52b8-4564-8623-ea8ec79bf674
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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![]() |
Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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公開日 | 2015-04-15 | |||||||
タイトル | ||||||||
タイトル | γ-Al2O3/Si(100)基板上のPb(Zr,Ti)O3薄膜焦電型赤外線センサの集積化に関する研究 | |||||||
言語 | ja | |||||||
タイトル | ||||||||
タイトル | Study on Integration of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Film Pyroelectric Infrared Detectors on γ-Al2O3/Si(100) Substrate | |||||||
言語 | en | |||||||
言語 | ||||||||
言語 | jpn | |||||||
資源タイプ | ||||||||
資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
アクセス権 | ||||||||
アクセス権 | open access | |||||||
著者 |
大石, 浩史
× 大石, 浩史
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学位名 | ||||||||
言語 | ja | |||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||||
学位授与機関 | ||||||||
学位授与機関識別子 | 13904 | |||||||
学位授与機関名 | 豊橋技術科学大学 | |||||||
学位授与年月日 | ||||||||
学位授与年月日 | 2015-03-23 | |||||||
学位授与番号 | ||||||||
学位授与番号 | 甲第714号 | |||||||
関連サイト | ||||||||
識別子タイプ | URI | |||||||
関連識別子 | http://www.tut.ac.jp/university/docs/abstk714.pdf | |||||||
関連名称 | TUT博士論文要旨 | |||||||
著者版フラグ | ||||||||
出版タイプ | VoR |