WEKO3
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半導体製造工程におけるT2-Q管理図の実践 : 変動の大きさの管理から変動パターンの管理へ
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名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
本文_fulltext (1.2 MB)
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|
Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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公開日 | 2017-07-26 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 半導体製造工程におけるT2-Q管理図の実践 : 変動の大きさの管理から変動パターンの管理へ | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
キーワード | ||||||
言語 | en | |||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Dry Etching Process | |||||
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言語 | en | |||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Principal Component Analysis | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | journal article | |||||
その他(別言語等)のタイトル | ||||||
その他のタイトル | A Practice of T^2-Q Control Charts in Semiconductor Manufacturing Process : A paradigm shift from monitoring the amount of variation to monitoring the pattern of variation | |||||
著者 |
東出, 政信
× 東出, 政信× 仁科, 健× 川村, 大伸 |
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著者別名 | ||||||
姓名 | Nishina, Ken | |||||
書誌情報 |
品質 巻 44, 号 3, p. 341-350, 発行日 2014 |
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出版者 | ||||||
出版者 | 日本品質管理学会 | |||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 03868230 | |||||
書誌レコードID(NCID) | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00354769 | |||||
著者版フラグ | ||||||
出版タイプ | VoR | |||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
DOI | ||||||
関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
識別子タイプ | DOI | |||||
関連識別子 | http://doi.org/10.20684/quality.44.3_341 | |||||
関連名称 | 10.20684/quality.44.3_341 | |||||
論文ID(NAID) | ||||||
関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
識別子タイプ | NAID | |||||
関連識別子 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110009833208 | |||||
関連名称 | 110009833208 | |||||
内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 半導体製造工程(ウエーハプロセス)においては,品質特性のウエーハ内変動の大きさより変動パターンが問題となる場合がある.ウエーハ内の変動パターンには,加工装置への副生成物の付着や主要パーツの劣化,副生成物の除去とパーツ交換を行う装置メンテナンスの効果を受け,特有の繰り返しパターンが現れる.このウエーハ内変動は"ばらつきの大きさ"ではなく"ばらつきのパターン"であることから,ウエーハ内変動をばらつきパターンの情報を持たないR管理図によってモニターすることは妥当ではなく,測定位置を変数とした多変量管理図の利用を考えることができる.本研究では,多変量管理図の変形でありJackson and Mudholkar(1979)によって提案されたT^2-Q管理図に着目し,1)T^2統計量とQ統計量を構成する主成分の分割に対する考え方 2)寄与プロットの応用 3)ばらつきのパターンをモニタリングする必要性について提案と考察を行う.この考え方は,従来型管理図の主流であった変動の大きさの管理から,変動パターンの管理に視点を転換する方法の一つである. | |||||
フォーマット | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | application/pdf |