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半導体製造プロセス開発と工程アーキテクチャ論 : 装置を購入すれば半導体は製造できるか
https://doi.org/10.14988/pa.2017.0000007394
https://doi.org/10.14988/pa.2017.00000073944c762409-d215-4d20-8979-dd461128bec0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
017060030403.pdf (2.7 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
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| 公開日 | 2012-04-10 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | 半導体製造プロセス開発と工程アーキテクチャ論 : 装置を購入すれば半導体は製造できるか | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | ハンドウタイ セイゾウ プロセス カイハツ ト コウテイ アーキテクチャ ロン : ソウチ オ コウニュウ スレバ ハンドウタイ ワ セイゾウ デキルカ | |||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | The Theory of Process Architecture in Semiconductor Industry : The Development of Semiconductors Production Process Flow in R&D Center and Fab. | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||||||||
| ID登録 | 10.14988/pa.2017.0000007394 | |||||||||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||||||||
| アクセス権 | ||||||||||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||||
| 著者 |
鈴木, 良始
× 鈴木, 良始
WEKO
12211
× 湯之上, 隆
WEKO
12271
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| 内容記述 | ||||||||||||||||||
| 内容記述 | 研究 | |||||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 同志社商学 en : Doshisha Shogaku (The Doshisha Business Review) 巻 60, 号 3-4, p. 54-154, 発行日 2008-12-15 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 同志社大学商学会 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 03872858 | |||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN00165609 | |||||||||||||||||
| 権利者情報 | ||||||||||||||||||
| 権利者識別子Scheme | AID | |||||||||||||||||
| 権利者識別子 | DA04066893 | |||||||||||||||||
| 権利者名 | 同志社大学商学会 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| 関連サイト | ||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isFormatOf | |||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doors.doshisha.ac.jp/opac/opac_link/bibid/SB00960307/?lang=0 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| 関連名称 | 掲載刊行物所蔵情報へのリンク ／ Link to Contents | |||||||||||||||||
| フォーマット | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||
